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第82章 光刻机与光刻胶 (第2/2页)

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测器、掩膜版.....全部都达到了全国最前沿的技术水平。

另外,掩膜台的运动控制精度达到纳米级,物镜、量台、曝光台、内部封闭框架、减振

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